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製品詳細

スクリュー式ドライ真空ポンプ

「スクリュー式ドライ真空ポンプ」は、スパイラキシャル式スクリューローターの新技術により開発され、低速(3000.R.P.M)単段で大気圧~到達圧力0.1Paまで連続排気できる画期的なドライ真空ポンプです。単段でインタークーラーを必要としない、極めて簡単な構造でメンテナンス性に優れ、凝縮ガス・腐食性ガス・反応生成物等を排気する化学工業・半導体プロセスなどに威力を発揮します

特 長
  • 1)優れた性能
  • 大気圧から到達圧力0.1Pa台まで、あらゆる圧力領域での連続運転が可能で、安定した性能を得る事ができる。また、低速運転により機械的な摩耗が少なく、低騒音化と低振動化を実現。

  • 2)優れたメンテナンス性
  • 部品点数が少なく、極めてシンプルな構造で、分解・組立てが容易。

  • 3)耐食性ガスにも対応
  • 接ガス部は特殊コーティングによって、優れた耐食性を発揮。

  • 4)ロングライフ
  • EVトラップとの組合せで、ポンプ内部のダスト滞留を防止する事により、クリーンな排気とロングライフを実現。

仕 様

高真空タイプ

形式 SLT-413A SLT-513A
口径 40A/40A 50A/40A
吸気/排気
実行排気速度 1400 3000
L/min 1100 2500
到達真空度 1 0.7
Pa 1.3 1
電動機定格 3.7×2 7.5×2
kw×P 3.7×2 5.5×2
冷却水量 2 4
L/min

中真空タイプ:スタンダード

形式 MDP-415A MDP-535A MDP-680 MDP-1015
口径 40A/40A 50A/40A 65A/50A 100A/65A
吸気/排気
実行排気速度 1400 3000 6200 11000
L/min 1100 2500 5000 9000
到達真空度 40 13 1 0.7
Pa 80 50 1.3 1
電動機定格 3.7×2 7.5×2 15×2 30×2
kw×P 3.7×2 5.5×2 11×2 22×2
冷却水量 2 4 6 12
L/min

低真空タイプ:コンパクト

形式 SDV-25 SDV-30 SDV-40 SDV-50 SDV-65 SDV-100
口径 25A/25A 25A/25A 40A/32A 50A/40A 65A/50A 100A/65A
吸気/排気
実行排気速度 500 800 1900 2500 5000 9000
L/min       3000 6100 13000
到達真空度 300 30 10 300 90 60
Pa       130 35 25
電動機定格 1.5×2 2.2×2 3.7×2 5.5×2 11×2 18.5×2
kw×P           22×2
冷却水量 2 2 4 4 6 12
L/min
用 途
  • 1)医薬、医療、食品生産設備
  • 蒸溜・濃縮・精製・乾燥含侵・・・等

  • 2)半導体プロセス
  • エッチング・イオン注入・CVD・単結晶引き上げ装置・・・等

  • 3)ケミカルプロセス
  • 樹脂脱泡・成形・重合反応・攪拌・分離・溶剤回収……等

  • 4)熱処理炉、真空鋳造、他 各種装置

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