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実例・実績 EVトラップ Case3
東製のEVトラップは
- ドライ真空ポンプトラブル防止対策
- ＣＶＤ、ＰＶＤ、エッチング
- イオン注入、単結晶引き上げ装置
にお役立ちします
- 突発的なドライ真空ポンプトラブルにより生産ラインが停止する。
- 油回転真空ポンプ機内の油に異物が混入して交換メンテナンス頻度が多い。
ドライ真空ポンプ前段にＥＶトラップを設置して真空ポンプ機内への異物混入を防止する。
ＥＶトラップから真空ポンプ機内への異物混入を防止すること、ＥＶトラップ自体のエレメント詰りのバランスをとること、この二つが非常に重要となります。
捕捉率を上げるとエレメント詰りが早くなり、詰りを軽減すると異物の捕捉効率が悪くなります。東製では打合せとテストを積み重ねて、最適な選定をご提案しております。
今までの実績によるノウハウと現地テストにより、最適なご提案をいたします。
またエレメント寿命サイクル延長のオプションとして、逆圧力洗浄とドレン排出掃除口取付により、捕捉効率向上とロングサイクル運転を可能としました。
- ＥＶトラップを導入する前は、頻繁に真空ポンプの突発的な故障・トラブルが発生していたがＥＶトラップ導入後、トラブルが無くなり計画的な生産工程が進められた。
- 油回転真空ポンプの油交換頻度が、減少して時間効率ＵＰと油廃棄処分費削減によりランニングコストが低減できました。
※実績・実例は、ほんの１例です。上記以外にも様々なご提案がありますので、ご相談・
ご質問等ありましたら当社までお気軽にご連絡ください。