スクリュー式ドライ真空ポンプ装置概要／特徴
スクリュー式ドライ真空ポンプの概要
「スクリュー式ドライ真空ポンプ」は、スパイラキシャル式スクリューローターの新技術により開発され、低速（3000.R.P.M）単段で大気圧～到達圧力0.1Paまで連続排気できる画期的なドライ真空ポンプです。単段でインタークーラーを必要としない、極めて簡単な構造でメンテナンス性に優れ、凝縮ガス・腐食性ガス・反応生成物等を排気する化学工業・半導体プロセスなどに威力を発揮します。
EVトラップとの併用により真空ポンプトラブルを軽減しメンテナンス費用の削減を実現します。
スクリュー式ドライ真空ポンプの特徴
- 優れた性能
大気圧から到達圧力0.1Pa台まで、あらゆる圧力領域での連続運転が可能で、安定した性能を得る事ができる。また、低速運転により機械的な摩耗が少なく、低騒音化と低振動化を実現。 - 優れたメンテナンス性
部品点数が少なく、極めてシンプルな構造で、分解・組立てが容易。 - 耐食性ガスにも対応
接ガス部は特殊コーティングによって、優れた耐食性を発揮。 - ロングライフ
EVトラップとの組合せで、ポンプ内部のダスト滞留を防止する事により、クリーンな排気とロングライフを実現。
スクリュー式ドライ真空ポンプの仕様
高真空タイプ
| 形式 | SLT-413A | SLT-513A |
|---|---|---|
| 口径 | 40A/40A | 50A/40A |
| 吸気/排気 | ||
| 実行排気速度 | 1400 | 3000 |
| L/min | 1100 | 2500 |
| 到達真空度 | 1 | 0.7 |
| Pa | 1.3 | 1 |
| 電動機定格 | 3.7×2 | 7.5×2 |
| kw×P | 3.7×2 | 5.5×2 |
| 冷却水量 | 2 | 4 |
| L/min |
中真空タイプ：スタンダード
| 形式 | MDP-415A | MDP-535A | MDP-680 | MDP-1015 |
|---|---|---|---|---|
| 口径 | 40A/40A | 50A/40A | 65A/50A | 100A/65A |
| 吸気/排気 | ||||
| 実行排気速度 | 1400 | 3000 | 6200 | 11000 |
| L/min | 1100 | 2500 | 5000 | 9000 |
| 到達真空度 | 40 | 13 | 1 | 0.7 |
| Pa | 1.3 | 50 | 1.3 | 1 |
| 電動機定格 | 3.7×2 | 7.5×2 | 15×2 | 30×2 |
| kw×P | 3.7×2 | 5.5×2 | 11×2 | 22×2 |
| 冷却水量 | 2 | 4 | 6 | 12 |
| L/min |
低真空タイプ：コンパクト
| 形式 | SDV-25 | SDV-30 | SDV-40 | SDV-50 | SDV-65 | SDV-100 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 25A/25A | 25A/25A | 40A/32A | 50A/40A | 65A/50A | 100A/45A |
| 吸気/排気 | ||||||
| 実行排気速度 | 500 | 800 | 1900 | 2500 | 5000 | 9000 |
| L/min | 3000 | 6100 | 130000 | |||
| 到達真空度 | 300 | 30 | 10 | 300 | 90 | 60 |
| Pa | 130 | 35 | 25 | |||
| 電動機定格 | 1.5×2 | 2.2×2 | 3.7×2 | 5.5×2 | 11×2 | 18.5×2 |
| kw×P | 22×2 | |||||
| 冷却水量 | 2 | 2 | 4 | 4 | 6 | 12 |
| L/min |
用途
- 医薬、医療、食品生産設備
蒸溜・濃縮・精製・乾燥含侵...等 - 半導体プロセス
エッチング・イオン注入・CVD・単結晶引き上げ装置...等 - ケミカルプロセス
樹脂脱泡・成形・重合反応・攪拌・分離・溶剤回収...等 - 熱処理炉、真空鋳造、他 各種装置
